Measuring Wafer-Level Reliability Course 概述

Measuring Wafer-Level Reliability Course 將說明使用晶圓級穩定性測試軟體來測試半導體晶圓穩定性的基礎知識。

 

課程最新版本發表日期或版本號碼: 22.5

課程詳情:

Measuring Wafer-Level Reliability Course Overview 大綱

課程概述主題

晶圓級穩定性測試介紹

在本課程中,您將探索 NI 晶圓級穩定性測試解決方案的目的,並找出可用的資源來協助整合至較大的測試系統。

  • NI 提供的傳統 WLR 系統和解決方案的挑戰
  • 探索其他 WLR 學習教材

探索參數測試系統硬體

在本課程中,您將探索參數測試系統的硬體元件。

  • 探索 PTS 硬體
  • 準備參數測試系統

探索晶圓級穩定性測試軟體

在本課程中,您將探索安裝到 Wafer Level Reliability Test Software 中的軟體元件。

  • WLR Software 概述
  • 安裝 WLR Test Software
  • 探索 WLR Test Software 元件 

連線至 DUT

在本課程中,您將了解如何定義晶圓、辨別您要在晶圓上測試的 DUT,以及如何將 SMU 通道對應至 DUT。

  • 設定晶圓
  • 將 SMU 通道對應至 DUT
  • 準備設定檔

執行補償

在本課程中,您將學習在執行 WLR 測試前如何執行 SMU 補償,來確保測試結果的正確性。

  • 補償是什麼?
  • 執行開路和短路補償

執行 TDDB 測試

在本課程中,您將學習如何使用 WLR 測試軟體人機介面來執行 TDDB 測試和檢視結果。

  • TDDB 測試概述
  • 執行 TDDB 壓力測試

執行 HCI/BTI 測試

在本課程中,您將學習如何使用 WLR 測試軟體人機介面來執行 HCI/BTI 測試和檢視結果。

  • 熱載流子注入 (HCI) 測試概述
  • 偏壓溫度不穩定性 (BTI) 測試概述
  • 執行 HCI/BTI 壓力測試

設定 WLR 測試序列的進階選項

在本課程中,您將了解有哪些測試序列的設定選擇,以滿足更多樣的 WLR 測試需求。

  • 測試晶圓盒
  • 提升量測作業的精確度
  • 提升裝置對應的靈活性 
  • 使用電流源模式

客制化測試執行

在本課程中,您將學習如何透過將客制化測試步驟新增到測試執行過程中,以修改測試流程。

  • 探索常見測試執行客制化作業

針對常見問題進行疑難排解

在本課程中,您會學習如何針對因系統配置、系統操作和測試執行而產生的常見問題,進行除錯和疑難排解。

  • 一般疑難排解工作流程
  • 排除設定檔對應錯誤以及選擇客制化設定檔

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