SCXIモジュールには、内部チャンネルを持つものがあります。これらのチャンネルは、I/Oコネクタからアクセスできない物理チャンネルです。これらの内部物理チャンネル上の信号を測定するには、仮想チャンネルを作成時にその物理チャンネル名を割り当てます。SCXI-1100、SCXI-1102、SCXI-1120、SCXI-1121、SCXI-1122、SCXI-1125モジュールには、_cjTempチャンネルと呼ばれる内部物理チャンネルがあります。これは、熱電対のコネクタで温度測定に使用する冷接点補償チャンネルです。

SCXI-1112には、内部チャンネル _cjTemp0、_cjTemp1、_cjTemp2、_cjTemp3、_cjTemp4、_cjTemp5、_cjTemp6、_cjTemp7があります。これらは、SCXI-1112にある各アナログ入力チャンネルの冷接点補償チャンネルです。

SCXI-1520には、_pPos0と_pNeg0～_pPos7と_pNeg7という8ペアの内部チャンネルがあります。これらのチャンネルは対応するアナログ入力チャンネルで励起をリードバックします。このペアのpPos側は励起電圧の正極で、pNegは励起の負極です。実際の励起値は、pPos値からpNeg値を減算した値です。

SCXI-1521/Bには、_Vex0～_Vex23という24個の電圧励起内部チャンネルがあります。これらのチャンネルは対応するアナログ入力チャンネルで励起をリードバックします。また、SCXI-1521/Bには、_IexPos0と_IexNeg0～_IexPos23と_IexNeg23という24ペアの内部チャンネルがあります。チャンネルxに接続されたセンサを通る電流は、_IexPosx値から_IexNegx値を減算した値です。